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微机械mems是英文micro electro mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(mems)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的 21世纪技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、liga和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种---异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统(mems)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生---性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。
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折叠陀螺罗盘供航行和飞行物体作方向基准用的寻找并---地理子午面的三自由度陀螺仪。其外环轴铅直,转子轴水平置于子午面内,高温150度双轴陀螺仪厂家,正端指北;其沿铅垂轴向下或向上偏离支承中心。转子轴偏离子午面时同时偏离水平面而产生重力矩使陀螺旋进到子午面,这种利用重力矩的陀螺罗盘称摆式罗盘。21世纪发展为利用自动控制系统代替重力摆的电控陀螺罗盘,并创造出能同时指示水平面和子午面的平台罗盘。
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mems陀螺仪的重要参数包括:分辨率(resolution)、零角速度输出(零位输出)、灵敏度(sensitivity)和测量范围。这些参数是评判mems陀螺仪性能好坏的重要标志,同时也决定陀螺仪的应用环境。
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